Três estágios históricos do desenvolvimento da tecnologia de sensores
A primeira geração é um sensor estrutural, que usa alterações de parâmetros estruturais para detectar e converter sinais. Por exemplo: sensor de tensão de resistência, que utiliza a mudança de resistência quando o material metálico se deforma elasticamente para converter o sinal elétrico.
O sensor de segunda geração é um sensor de estado sólido desenvolvido na década de 1970. Este sensor é composto de componentes de estado sólido, como semicondutores, dielétricos e materiais magnéticos, e é feito de certas propriedades dos materiais. Tais como: efeito termoelétrico, efeito Hall, efeito fotossensível, respectivamente, feito de sensor termopar, sensor Hall, sensor fotossensível e assim por diante.
No final da década de 1970, com o desenvolvimento da tecnologia integrada, tecnologia de síntese molecular, tecnologia microeletrônica e tecnologia computacional, surgiram os sensores integrados. Existem dois tipos de sensores integrados: a integração do próprio sensor e a integração do sensor e circuitos subsequentes. Por exemplo: Dispositivo Acoplado à Carga (CCD), Sensor de Temperatura Integrado AD 590, Sensor Hall Integrado UG 3501, etc. Este tipo de sensor possui principalmente as características de baixo custo, alta confiabilidade, bom desempenho e interface flexível. O desenvolvimento do sensor integrado é muito rápido, e agora representa cerca de 2/3 do mercado de sensores. Está se desenvolvendo para baixo preço, multifuncional e serialização.
O sensor de terceira geração é um sensor inteligente que acabou de ser desenvolvido na década de 1980. O chamado sensor inteligente significa que possui certas capacidades de detecção, autodiagnóstico, processamento de dados e adaptabilidade para informações externas, e é o produto da combinação de tecnologia de microcomputador e tecnologia de detecção. Na década de 1980, a medição inteligente tomou principalmente o microprocessador como núcleo e integrou o circuito de condicionamento de sinal do sensor, microcomputador, memória e interface em um chip, para que o sensor tenha uma certa inteligência artificial. Na década de 1990, a tecnologia de medição inteligente foi aprimorada ainda mais, realizando inteligência no nível do sensor, para que tenha função de autodiagnóstico, função de memória, função de medição multiparâmetro e função de comunicação de rede.
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